除了等离子体镀膜和等离子体刻蚀以外，等离子技术在工业生产中还有其他应用领域。工件的表面不会被剥蚀或涂覆，只会修改。 清洁：
在金属加工中，工件以前用氟氯化碳进行细致清洁。替代方法是使用在等离子体中活跃气体的高反应性进行表面清洁。例如用氧气可以完全去除有机残留物。 表面活化：
在等离子体处理中，工件的惰性表面可以进行化学改性，使得在无特殊底漆的情况下涂漆。这个方法对于塑料部件的多样化设计尤为重要。 等离子体扩散：
钢制工件表面必须经常经过淬火处理或提供防腐保护。这可以在等离子体中通过氮化，硼化或渗碳轻松实现。
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