等离子体是气体具有导电性的电离状态。例如自然界中的极光便是等离子体。在技术领域,使用合适的电源或发生器可产生等离子体。其以荧光灯的形式广泛用于照明技术。 在工业制造中,等离子体主要用于表面技术。通过等离子体技术可以多种方式涂覆、精整或设计表面。等离子体表面技术最初用于微电子制造,但后来也渗透到广泛的工业制造领域。 无论选择哪种等离子体工艺或在哪个应用领域,成功操作气体放电都需要专用电源。
等离子技术
用于等离子体工艺的通快霍廷格电子电源
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