通过感应耦合等离子体 (ICP) 可在大气压下达到最高 10,000 ℃ 的温度。在此期间必须使等离子气处于第四种聚集态。一 开始需要点火源（利用热能或 高压）。其产生最初的自由移动的载流子，随后载流子在感应器的磁场中在高压下加速并引起等离子气的雪崩式电离。结果产生能导电的等离子体，可进一步对其感应加热。
常见的等离子气有氩气、氮气、氢气和氧气及其混合物。重要应用包括金属颗粒的球化、玻璃表面的活化、硅熔体的净化（澄清）、金属陶瓷化合物的生产和光谱学。采用电子管技术的通快霍廷格电子发生器为这些应用可靠提供在 2 – 3 MHz 的频率下高达 120 kW 的功率。