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感应加热

TruHeat MF G3 系列

数十年经验之精华

遍布全球,适用于所有感应式应用

通快霍廷格电子推出新一代产品。TruHeat MF G3 系列发生器尤为适合晶体培养和晶体外延生长应用。我们通过业界优秀的前代产品 TruHeat MF 3000 系列积累了数十年的经验,并将这些经验在新一代产品中发挥地淋漓尽致:既优化成本效益,又确保可靠性与耐用性。

工作电压范围广

无需技术适配,全球可用

耐用又可靠的结构类型

停机时间短,因此持久可用并节省成本

需水量少

经济又可靠的冷却设计降低了开支

整个使用寿命均能保持最高经济效益

效率高达 94.5%,运行成本低

广泛的应用范围

通过业界优秀的前代产品 TruHeat MF 3000 积累的经验有助于提升可靠性与耐用性,同时优化成本效益。尤其是针对 SiC。当然也同样适用于丰富多样的整体感应类市场。

晶体外延生长

将单晶层涂覆至相同材料的基质上,例如制造发光二级管时。

晶体培养

TruHeat MF G3 系列发生器主要用于要求严苛的感应式加热任务(例如晶体培养),尤其是培养碳化硅(SiC)。

应用灵活、全球适用

占地需求小,可轻松集成至任意应用环境——单独的并联振荡电路结构能在工艺中灵活布置。得益于可变电源电压,无需技术改动即可在全球范围内使用此款电源,多种可用接口便于配置与操作。

温控型进程的理想解决方案

并联振荡电路技术减少装工具启动时间,改善提高生产效率并扩大应用范围。得益于灵活的功率调节(将近 0 % 至 100 %)特性,可通过 TruHeat MF G3 系列电源理想地调节温度控制工艺。电源的运行可靠性和长期稳定性保障高生产效率和工艺的可重复性,而中频输出变压器的分接头则允许适配各种感应加热工艺流程。

TruHeat MF G3 系列
外部电路

借助外部电路可根据高频发生器优化调节负载(感应线圈 + 工件),这样就可随时输出最大功率。提供各种外部电路用于不同应用。

电路类别 3

将设备安全断电。

可切换输出电压

输出电压可从 300 V 切换至 600 V,因此最适合要求严苛的加热工艺流程。

联网型 GUI

借助联网型图形操作界面,无需软件便可轻松地在计算机(笔记本电脑)上操作、配置和监控发生器。

感应器
感应器几何形状针对相应加热进程进行特别匹配(环形、线性或成形感应器)。
高温计和程序控制器
高温计用于非接触式测量温度不超过 2000 °C 的表面。配对的程序调节器能够精准落实温度曲线。
冰水机
冰水机负责可靠排放工艺流程热量。 针对不同的应用范围可提供各类规格。
同轴变压器
同轴变压器用于发生器和感应器之间的最佳功率适配。 可提供变压比为 6:1、9:1 和 12:1 的同轴变压器。

受国别影响,此产品分类与此说明 可能有所不同。保留技术、装备、价格与配件范围方面的更改权利。 请与您当地的联系人取得联系,以便了解您所在国家 是否可提供该产品。

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