挑战:
高沉积速率与出色的涂层质量——这是在等离子辅助镀膜流程中的关键质量要求,例如制造太阳能电池或纯平显示屏镀膜。然而,等离子镀膜可能受到电飞弧或电弧放电(所谓的 Arc)影响。因此,所用电源必须在非常短的时间内识别到电弧并分别作出回应。 解决方案:
我们的等离子体电源配备针对 个性化要求进行调整的电弧管理系统。这实现飞快电弧识别,由此电源能快速精确地对电弧作出回应。通过短暂切断输出功率处理电弧,这样可消除电弧放电。再次启动电源时将检查是否正确燃烧辉光放电。
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