TruPlasma VHF 3000 系列

TruPlasma VHF 3000 系列的模块化平台允许输出功率最高扩展到 80 kW；凭借所实施的 CombineLine 技术，电源在失调情况下仍然非常稳健。非常宽泛的频率范围以及可变电源电压和电缆长度实现灵活适配不同应用与使用国。

TruPlasma VHF 3000 系列的高频电源完全采用最先进的半导体技术通过 LDMOS 功率晶体管构建。高度集成化的平面构建技术在提高能量效率并相应降低冷却功率的同时，还实现了极高的功率密度。因此，该产品系列提供此频率范围内前所未有的经济性，缩减市场中的常见运行成本。

SystemPort 通过直接测量阻抗匹配器输入端和输出端上的 RF 信号，形成闭环控制回路。RF 发生器可使用所有测量值。由此实现更好的工艺流程参数监测，保护阻抗匹配器并确保及早识别电弧。可通过单一的电源接口控制整个 RF 系统。

等离子体工艺就像一个复杂可变的负载，必须通过电源为其不断供电。这项工作由有源匹配网络（所谓的阻抗匹配器）来完成，确保随时精确匹配 50 Ω 的最佳阻抗。由此形成相互完美协调的系统解决方案——通快 RF 系统。通过不同接口（如 EtherCAT）可十分轻松地将电源和阻抗匹配器集成至现有工艺环境之中，并通过电源与阻抗匹配器的智能连接（即所谓的 SystemPort）形成经优化的系统解决方案。