TruPlasma RF 3000 系列

通过出色的效率使功率损耗减半并降低冷却水成本——从而让您的运行成本最小化。即使工艺条件严苛，十分坚固的电源结构仍允许较长的运行时间，由此提高沉积速率。通过真正具有 50 Ω 输出阻抗的 CombineLine 技术有效防止等离子体波动——从而实现绝对稳定的工艺。

坚固结构确保最高流程可靠性和生产效率。100 % 失调保护确保在极端负载下仍然稳妥运行。可选的连续式或脉冲式功率输出支持广泛的工艺要求。在全球范围内已安装 20,000 多个单元——超过任何其他等离子体电源。

SystemPort 通过直接测量阻抗匹配器输入端和输出端上的 RF 信号，形成闭环控制回路。RF 发生器可使用所有测量值。由此实现更好的工艺流程参数监测，保护阻抗匹配器并确保及早识别电弧。可通过单一的发生器接口控制整个 RF 系统。

等离子体工艺就像一个复杂可变的负载，必须通过电源为其不断供电。这项工作由有源匹配网络（所谓的阻抗匹配器）来完成，确保随时精确匹配 50 Ω 的最佳阻抗。由此形成相互完美协调的系统解决方案——通快 RF 系统。通过不同接口（如 EtherCAT）可十分轻松地将发生器和阻抗匹配器集成至现有工艺环境之中，并通过发生器与阻抗匹配器的智能连接（即所谓的 SystemPort）形成经优化的系统解决方案。