TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列

TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列的智能实时匹配确保快速直接的 50 欧姆阻抗适配。通过已获专利的 CombineLine 技术可靠防止等离子体波动和污染，而无风扇冷却设计则降低故障率，提高效率，并实现无尘室内使用。

得益于高达 80 % 的能量转换率，与常规发生器相比，可将您的能源成本降低最多 50 %。众多可用接口（可配置模拟接口、RS 232/485、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT）简化现有设备中的集成，得益于内置的超宽范围电源（200-480 VAC）无需技术适配。高功率密度的紧凑结构形式（19 英寸或 ½-19 英寸插入式装置）允许以节省空间的方式集成至任一生产设备中。

SystemPort 通过直接测量阻抗匹配器输入端和输出端上的 RF 信号，形成闭环控制回路。RF 电源可使用所有测量值。由此实现更好的工艺流程参数监测，保护阻抗匹配器并确保及早识别电弧。可通过单一的电源接口控制整个 RF 系统。

等离子体工艺就像一个复杂可变的负载，必须通过发生器为其不断供电。这项工作由有源匹配网络（所谓的阻抗匹配器）来完成，确保随时精确匹配 50 Ω 的最佳阻抗。由此形成相互完美协调的系统解决方案——通快 RF 系统。通过不同接口（如 EtherCAT）可十分轻松地将电源和阻抗匹配器集成至现有工艺环境之中，并通过电源与阻抗匹配器的智能连接（即所谓的 SystemPort）形成经优化的系统解决方案。