TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列

阻抗匹配器负责随时快速直接匹配 50 Ω 阻抗——从而确保高频电源始终向工艺输出全功率。阻抗匹配器与电源之间的无线通信实现最佳工艺流程监测和及早识别电弧。

高频输入与输出功率的实时测量显示阻抗的动态变化，冷却传感器实现可靠预报功率损耗。含有复杂显示选项（史密期圆图、实时示波器）的图形操作软件让所有相关工艺参数始终一目了然。

SystemPort 通过直接测量阻抗匹配器输入端和输出端上的 RF 信号，形成闭环控制回路。RF 发生器可使用所有测量值。由此实现更好的工艺流程参数监测，保护阻抗匹配器并确保及早识别电弧。可通过单一的发生器接口控制整个 RF 系统。

等离子体工艺就像一个复杂可变的负载，必须通过发生器为其不断供电。这项工作由有源匹配网络（所谓的阻抗匹配器）来完成，确保随时精确匹配 50 Ω 的最佳阻抗。由此形成相互完美协调的系统解决方案——通快 RF 系统。通过不同接口（如 EtherCAT）可十分轻松地将发生器和阻抗匹配器集成至现有工艺环境之中，并通过发生器与阻抗匹配器的智能连接（即所谓的 SystemPort）形成经优化的系统解决方案。