新一代紧凑型直流电源
TruPlasma DC 3000 (G2) 系列适合众多直流溅射工艺——也可作为脉冲式工艺电源的替代品。因为有先进的电弧管理为最佳涂层质量和显著提升的成品率提供保障。由于特别紧凑的结构,该水冷式直流电源可非常方便地集成到现有应用之中。
同级别中最低的电弧能量
残余能量 < 0.3 mJ/kW 确保最佳涂层质量和高沉积速率。
高功率密度
结构极为紧凑(19 英寸插入式装置),从而在确保更大功率的同时实现轻松集成。
大功率带宽
输出功率从 20 kW 至 300 kW 不等,因此能够替代更为庞大的电源。
完全水冷
实现较长的系统运行时间,并减少维护工作。
方便系统集成
可变电源电压(400 V 至 480 V)以及各种不同的数据接口。
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