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等离子体激发

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1)系列

涂层质量的最佳结果

概览
应用
客户利益
软件
系统组件

最新一代双极性脉冲发生器

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列工艺电源专为借助 PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子体辅助镀膜技术而开发;在太阳能电池与半导体制造、耐磨装饰涂层涂覆以及建筑玻璃镀膜中,其凭借灵活可塑的输出信号和精湛的电弧管理提供出色结果。

极低电弧能量

全数字化电弧管理确保出色的涂层质量和生产效率。

可调波形

通过输出信号变化轻松适配不同工艺。

一台发生器,多种用途

直流电、被动脉冲式直流电和双极脉冲:得益于多种调整选项可节约成本。

集成的水冷

无需外部部件,因此空间需求极低。

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