感应加热

TruHeat MF G3 系列

数十年经验之精华

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概览

应用

客户利益

技术数据

选配

软件

系统组件

遍布全球，适用于所有感应式应用

通快霍廷格电子推出新一代产品。TruHeat MF G3 系列发生器尤为适合晶体培养和晶体外延生长应用。我们通过业界优秀的前代产品 TruHeat MF 3000 系列积累了数十年的经验，并将这些经验在新一代产品中发挥地淋漓尽致：既优化成本效益，又确保可靠性与耐用性。

工作电压范围广

无需技术适配，全球可用

耐用又可靠的结构类型

停机时间短，因此持久可用并节省成本

需水量少

经济又可靠的冷却设计降低了开支

整个使用寿命均能保持最高经济效益

效率高达 94.5%，运行成本低

广泛的应用范围

通过业界优秀的前代产品 TruHeat MF 3000 积累的经验有助于提升可靠性与耐用性，同时优化成本效益。尤其是针对 SiC。当然也同样适用于丰富多样的整体感应类市场。

晶体外延生长

将单晶层涂覆至相同材料的基质上，例如制造发光二级管时。

晶体培养

TruHeat MF G3 系列发生器主要用于要求严苛的感应式加热任务（例如晶体培养），尤其是培养碳化硅（SiC）。

应用灵活、全球适用

占地需求小，可轻松集成至任意应用环境——单独的并联振荡电路结构能在工艺中灵活布置。得益于可变电源电压，无需技术改动即可在全球范围内使用此款电源，多种可用接口便于配置与操作。

温控型进程的理想解决方案

并联振荡电路技术减少装工具启动时间，改善提高生产效率并扩大应用范围。得益于灵活的功率调节（将近 0 % 至 100 %）特性，可通过 TruHeat MF G3 系列电源理想地调节温度控制工艺。电源的运行可靠性和长期稳定性保障高生产效率和工艺的可重复性，而中频输出变压器的分接头则允许适配各种感应加热工艺流程。

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标称连接数据
电源供应器电压	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)
电源频率	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz
电源消耗功率	97 kVA	73 kVA	73 kVA	97 kVA	361 kVA	61 kVA	37 kVA	61 kVA	49 kVA	49 kVA	13 kVA	13 kVA	25 kVA	25 kVA	37 kVA	121 kVA	121 kVA
功率系数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
输出端
标称功率	80 kW	60 kW	60 kW	80 kW	300 kW	50 kW	30 kW	50 kW	40 kW	40 kW	10 kW	10 kW	20 kW	20 kW	30 kW	100 kW	100 kW
最大输出电流	616 A eff	616 A eff	616 A eff	616 A eff	1326 A eff	308 A eff	308 A eff	308 A eff	308 A eff	308 A eff	154 A eff	154 A eff	154 A eff	154 A eff	308 A eff	616 A eff	616 A eff
最高输出电压	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff
标称工作频率	20 kHz - 200 kHz	5 kHz - 30 kHz	20 kHz - 200 kHz	5 kHz - 30 kHz	5 kHz - 30 kHz	5 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 30 kHz	20 kHz - 200 kHz
功率电缆长度	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m
外壳
宽度	600 mm	600 mm	600 mm	600 mm	1800 mm		443 mm	443 mm	443 mm	552 mm	552 mm	443 mm	552 mm	443 mm	552 mm	600 mm	600 mm
高度	1600 mm	1600 mm	1600 mm	1600 mm	1600 mm		399 mm	399 mm	399 mm	511 mm	511 mm	399 mm	511 mm	399 mm	511 mm	1600 mm	1600 mm
深度	800 mm	800 mm	800 mm	800 mm	800 mm		759 mm	759 mm	759 mm	820 mm	820 mm	759 mm	820 mm	759 mm	820 mm	800 mm	800 mm
重量	349 kg	349 kg	349 kg	349 kg	968 kg		98 kg	98 kg	98 kg	140 kg	140 kg	98 kg	140 kg	98 kg	140 kg	349 kg	349 kg
防护等级 IP	54	54	54	54	54		20	20	20	20	20	20	20	20	20	54	54
通信接口
模拟/数字	✓	✓	✓	✓	✓		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
RS 232/RS 485	-	✓	-	✓	-		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	-
PROFIBUS	✓	✓	✓	✓	✓		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
Ethernet	-	✓	-	✓	-		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	-
EtherCAT	✓		✓		✓												✓
DeviceNet	✓		✓		✓												✓
冷却要求
最高水压	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar		6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
最小压差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar		3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	26 l/min	13 l/min	26 l/min	13 l/min	40 l/min		11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	13 l/min	26 l/min
冷却剂最高温度	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C		35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C
通用
总效率	95 %	95 %	95 %	95 %	95 %		95 %	95 %	95 %	95 %	92 %	92 %	94 %	94 %	95 %	95 %	95 %
认证书/标准	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC		CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC
周围条件
外部温度	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C		10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C

（多个）产品对比结束对比结束对比	TruHeat MF 7000-80/200 G3	TruHeat MF 7000-60/30 G3	TruHeat MF 7000-60/200 G3	TruHeat MF 7000-80/30 G3	TruHeat MF 7000-300 G3	TruHeat MF G3 系列	TruHeatMF 3000-30 G3	TruHeat MF 3000-50 G3	TruHeat MF 3000-40 G3	TruHeat MF 5000-40 G3	TruHeat MF 5000-10 G3	TruHeat MF 3000-10 G3	TruHeat MF 5000-20 G3	TruHeat MF 3000-20 G3	TruHeat MF 5000-30 G3	TruHeat MF 7000-100/30 G3	TruHeat MF 7000-100/200 G3
标称连接数据
电源供应器电压	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)	(±10%)
电源频率	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz	45 Hz - 65 Hz
电源消耗功率	97 kVA	73 kVA	73 kVA	97 kVA	361 kVA	61 kVA	37 kVA	61 kVA	49 kVA	49 kVA	13 kVA	13 kVA	25 kVA	25 kVA	37 kVA	121 kVA	121 kVA
功率系数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
输出端
标称功率	80 kW	60 kW	60 kW	80 kW	300 kW	50 kW	30 kW	50 kW	40 kW	40 kW	10 kW	10 kW	20 kW	20 kW	30 kW	100 kW	100 kW
最大输出电流	616 A eff	616 A eff	616 A eff	616 A eff	1326 A eff	308 A eff	308 A eff	308 A eff	308 A eff	308 A eff	154 A eff	154 A eff	154 A eff	154 A eff	308 A eff	616 A eff	616 A eff
最高输出电压	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff	600 V eff
标称工作频率	20 kHz - 200 kHz	5 kHz - 30 kHz	20 kHz - 200 kHz	5 kHz - 30 kHz	5 kHz - 30 kHz	5 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 200 kHz	5 kHz - 30 kHz	20 kHz - 200 kHz
功率电缆长度	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m	5 m - 25 m
外壳
宽度	600 mm	600 mm	600 mm	600 mm	1800 mm		443 mm	443 mm	443 mm	552 mm	552 mm	443 mm	552 mm	443 mm	552 mm	600 mm	600 mm
高度	1600 mm	1600 mm	1600 mm	1600 mm	1600 mm		399 mm	399 mm	399 mm	511 mm	511 mm	399 mm	511 mm	399 mm	511 mm	1600 mm	1600 mm
深度	800 mm	800 mm	800 mm	800 mm	800 mm		759 mm	759 mm	759 mm	820 mm	820 mm	759 mm	820 mm	759 mm	820 mm	800 mm	800 mm
重量	349 kg	349 kg	349 kg	349 kg	968 kg		98 kg	98 kg	98 kg	140 kg	140 kg	98 kg	140 kg	98 kg	140 kg	349 kg	349 kg
防护等级 IP	54	54	54	54	54		20	20	20	20	20	20	20	20	20	54	54
通信接口
模拟/数字	✓	✓	✓	✓	✓		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
RS 232/RS 485	-	✓	-	✓	-		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	-
PROFIBUS	✓	✓	✓	✓	✓		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
Ethernet	-	✓	-	✓	-		✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	-
EtherCAT	✓		✓		✓												✓
DeviceNet	✓		✓		✓												✓
冷却要求
最高水压	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar		6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar	6 bar
最小压差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar		3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	26 l/min	13 l/min	26 l/min	13 l/min	40 l/min		11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	11 l/min	13 l/min	26 l/min
冷却剂最高温度	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C		35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C	35 °C
通用
总效率	95 %	95 %	95 %	95 %	95 %		95 %	95 %	95 %	95 %	92 %	92 %	94 %	94 %	95 %	95 %	95 %
认证书/标准	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC		CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC	CE、NRTL（选配）、Semi F47-0706、FCC
周围条件
外部温度	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C		10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C	10 °C - 40 °C