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感应加热

TruHeat HF 7000 系列

高功率电源配以成熟的管道技术

可靠高功率适用于要求严苛的加热进程

即使在超过 500 kHz 的高频率下,TruHeat HF 7000 系列仍能提供恒定的高功率,理想适用于半导体工业和光伏工业中的无间断长时工艺流程,同样适配商业外包淬火车间中不断变化的要求。始终值得信赖的电源。

成熟的管道技术

即使频率超过 500 kHz 仍能确保可靠的工艺结果。

稳定的高功率

频率高达 3000 kHz 时,功率为 500 kW。

大功率带宽

七个功率等级(10 kW 至 500 kW)实现众多工业应用。

频率范围大

400 kHz 至 3000 kHz 的频率范围确保最佳适配不同加热工艺流程。

即便工艺条件严苛,也能确保较高的长期稳定性

悬浮区熔法 (FZ) 用于生成高纯硅。

多种用途

感应耦合等离子体 (ICP)。

让您的应用发挥最佳性能

坚固的结构确保电源在工业环境中经久耐用,即使在严苛的长时工艺流程中,也能由此确保稳定的无间断运行,实现可观的生产效率。

凭借成熟的管道技术生成最高的输出频率和输出电压,集成式可控硅调节器则允许快速精确适配功率。电源和谐振电路可作为独立模块选购,从而实现工站结构的空间优化。

标称连接数据          
电源供应器电压 (±10%) (±10%) (±10%) (±10%) (±10%)
电源频率 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz 50 Hz - 60 Hz
电源消耗功率 210 kVA 63 kVA 252 kVA 126 kVA 21 kVA
功率系数 0.9 0.9 0.9 0.9 0.9
输出端          
标称功率 100 kW 30 kW 120 kW 60 kW 10 kW
最高输出电压 6600 V eff 6300 V eff 7000 V eff 6300 V eff 5000 V eff
标称工作频率 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz 400 kHz - 3000 kHz
功率电缆长度 3 m - 4 m 3 m - 20 m 3 m - 4 m 3 m - 20 m 3 m - 20 m
通信接口          
模拟/数字
冷却要求          
最高水压 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar 6 bar
最小压差 3.5 bar 3.5 bar 3.5 bar 3.5 bar 3.5 bar
最小流量 100 l/min 30 l/min 120 l/min 60 l/min 10 l/min
冷却剂最高温度 35 °C 35 °C 35 °C 35 °C 35 °C
周围条件          
外部温度 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C 10 °C - 45 °C

凭借各种选配,高频电源可最佳适配不同的系统环境。

远程控制单元

远程控制单元提供与电源操作面板相同的功能范围。由此能够在应用环境内直接操作电源,同时观察加热工艺流程。

阻抗匹配器

借助阻抗匹配器(又称为外部电路)可使负载(感应线圈 + 组件)最佳适配高频电源,从而能够始终输出最大功率。提供各种阻抗匹配器,可用于不同应用。

通过选用合适的系统组件能够使高频电源最佳适配现有应用。

感应器
感应器几何形状针对相应加热进程进行特别匹配(环形、线性或成形感应器)。
高温计
高温计用于无接触式表面温度测量,测量温度可高达 2000 °C。通过与其相连的程序控制器实现对温度分布曲线精准的探测采样。
冰水机
冰水机负责工艺流程热量的可靠排放。针对不同的应用范围可提供各类规格。

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