При этом методе лазер испаряет материал с минимальным количеством расплава. Пар материала создает в разрезе высокое давление, под воздействием которого расплав выбрасывается вверх и вниз.
Технологический газ – азот, аргон или гелий – выполняет лишь задачу изолирования поверхностей разреза от окружающей среды. Это необходимо для защиты кромок от окисления. Давления газа в 1 - 3 бар достаточно для данного типа обработки.
Испарение материала требует более высокой энергии, чем плавление. Поэтому для сублимационной резки применяются высокомощные лазеры, обработка ведется на пониженных скоростях. В то же время, получаемые кромки реза имеют высокое качество.