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TruFlow, 확실하고, 견고하고 다양하게 사용 가능함
TruFlow, 확실하고, 견고하고 다양하게 사용 가능함
CO2 레이저

TruFlow

확실하고, 견고하고 다양하게 사용 가능함

진정한 전천후 장비

TRUMPF의 TruFlow 시리즈 CO2 레이저는 산업 분야에서 수 년 동안 재료 가공의 범용 표준툴로 사용되어 왔습니다. 흘러 나온 레이저는 2 차원 또는 3차원 부품의 표면을 확실하고 저렴하게 절단, 용접 및 처리합니다. 10.6 µm의 파장과 2-20 kW의 넓은 전력 스펙트럼은 재료 종류 및 두께의 선택에 큰 자유를 주게 되었습니다. 따라서 TruFlow 레이저는 금속 뿐 아니라 유기 소재, 복합 소재 및 유리도 가공합니다.

안정적인 디자인

정사각형 디자인 덕분에 공진기는 구조적인 견고성과 내온도성을 갖습니다.

에너지 절감 시스템

냉각 콘셉트 및 지능형 에너지 관리는 TruFlow 레이저를 동급 중 가장 에너지 효율적인 레이저로 만듭니다.

마모 최소화

가스 순환 및 고주파 자극과 관련하여 마모가 없는 레이저 모드

내장된 빔 가이드

내장 및 밀폐된 빔 가이드의 도움으로 최적화된 형태의 레이저 광

언제나 안전함

지속적인 온도 및 오염도 모니터링

공진기의 정사각형 기본 구조
견고하고 컴팩트함

CO2 레이저의 경우 높은 레이저 출력과 우수한 빔 품질은 공진기의 길이에 따라 결정됩니다. TruFlow의 특수 구조는 두 층의 정사각형 회로 내 수 미터 길이의 방전관을 감쌉니다. 본 특수 구조(와 거의 폐쇄된 시스템)은 산업 환경에서 TruFlow 레이저를 컴팩트하고, 열 및 기계적으로 내구성이 있는 빔 소스로 만들어 줍니다.

CO2 레이저 TruFlow 공진기
부하 용량 및 다양성

최악의 조건에서도 TruFlow 레이저는 높은 가용성을 가지고 작업하므로 특히 더 경제적입니다. 2000 W - 20,000 W에 달하는 출력 스펙트럼은 레이저가 폭넓은 어플리케이션 분야에서 활용할 수 있도록 합니다.

클린룸 내 TruFlow 레이저 공진기 설치
지속적인 기본 조정

TruFlow 레이저 공진기를 클린룸에 장착한 후 그곳에서 기본 조정합니다. 기본 조정은 특허 받은 벤딩 미러의 고정부를 통해 사용기간 내내 지속적으로 실행됩니다. 본 시스템의 조절에 온도는 영향을 미치지 않습니다. 공진기의 모든 기계 및 광학적 컴포넌트는 직접적 또는 간접적으로 물을 통해 냉각됩니다. 특히 TruFlow 모델 시리즈용으로 개발된 레이저 냉각장치의 경우 냉각수 온도를 +/- 0.5 °C로 유지하여 최적의 파라미터 안정성을 보증합니다.

TruFlow CO2 레이저의 내장 캡슐형 빔 가이드
내장되고 밀폐된 빔 형성

빔 형성용 광학 엘리먼트는 레이저 내에 직접 내장되어 공간을 절약할 수 있습니다(예: 위상변환 미러, 원 편광판, 직경 조절 미러 또는 빔텔레스코프). 이러한 방식으로 출력 빔이 개별적으로 설정될 수 있습니다. 밀폐된 구조를 통해 광학 컴포넌트는 청결을 유지하고 레이저 출력 및 초점 구조는 절대적 불변성을 유지하게 됩니다.

TruFlow, 마모 없는가스 순환
마모 없는가스 순환

터보 레이디알 송풍기는 60,000 rpm까지 독특한 가스 유동 속도를 생성합니다. 터보 레이디알 송풍기는 레이저 출력 내 에너지 효율적인 전기 자극 에너지의 전환 조건을 만듭니다. 통합된 송풍기는 자기 베어링으로 작동하기 때문에 공진기 내부와 외부 간 접촉이 방지되며 시스템은 마모 없이 작동됩니다. 그 뿐 아니라 마그네틱 기술은 정전 또는 비상 정지의 경우 팬이 손상될 가능성을 차단하고 윤활제를 통한 오염을 방지합니다. 기계식 구동 모터는 다른 또 하나의 장점입니다.

TruFlow를 두꺼운 판재 및 얇은 판재에 사용

두꺼움 및 얇음을 통해

TruFlow 레이저는 그 우수한 빔의 속성과 넓은 출력 대역으로 인해 얇은 판재뿐 아니라 두꺼운 판재의 사용에도 적합합니다. 파장에 따른 큰 프로세스 윈도우는 두꺼운 시트 두께 및 빠른 이송 속도에서도 우수한 가공 작업을 보증합니다.

레이저로 가공된 튜브 및 프로파일

튜브 및 프로파일

TRUMPF의 TruFlow CO2 레이저를 통해 튜브 및 프로파일의 공급 롤러에 용융 토출물 침착 없이 하루 종일 무공 무한 심을 생성합니다. 따라서 TruFlow는 연속 모드에서 그 생산 능력을 증명합니다.

레이저 용접된 기어 부품

서스펜션 스트로크 기어

TruFlow를 사용할 경우 두꺼운 판재의 용접은 우수한 사용 결과에 도달할 수 있습니다. 고부하 심을 깊게 용접하는 것(예: 트럭의 서스펜션 스트로크 기어)이 가능하고 이는 산업 분야에서 TRUMPF CO2 레이저를 사용하여 많이 구현됩니다.

레이저 절단된 섬유 복합재(CFK) 부품

CFK 부품

TruFlow 레이저를 사용하여 기계적 하중 없이 섬유 복합재(예: CFK)를 분리할 수 있습니다. 우수한 플라스틱 기본 구조 내 흡수성으로 인해 CO2 레이저의 장점이 나타납니다.

TRUMPF의 TruFlow 레이저를 이용한 목재 가공

목재 가공

유기 소재의 경우 CO2 레이저는 파장에 따라 우수한 흡수율에 도달합니다. 낮은 레이저 출력에서 이미 우수한 가공 결과를 보여줍니다. TRUMPF의 CO2 레이저를 사용하여 목재를 절단할 때는 자유로운 컨투어와 정밀한 벤딩이 가능합니다.

EUV용 TruFlow 레이저 증폭기

EUV 사용

EUV를 사용하는 경우 CO2 레이저 광은 진공 챔버 내 액체 주석의 작은 방울에 초점을 맞춥니다. 여기에서 EUV 광(파장: 13.5 nm)을 방출하는 핫 플라즈마가 생성됩니다. 반도체 리소그래피의 경우 이 짧은 파장을 통해 초미세 구조가 생성될 수 있습니다. 이러한 파격적인 기술을 통해 미세화 및 반도체 구성 엘리먼트의 성능 향상이 가능합니다.

조선에서 후판 용접

CO2 레이저를 사용해서 조선에서 무게를 줄일 수 있으며, 이를 통해서 페이로드를 증가시킬 수 있습니다. 비틀림이 적은 레이저 제조 및 높은 자동화 정도는 제조 비용을 현저하게 감소시킵니다.

TruFlow가 포함된 Coiljoining

Coiljoining

전세계적으로 Coiljoining 어플리케이션에서 TruFlow에도 불구하고 스틸 제품에서 극단적인 환경 조건에서도.

레이저 변수        
정격출력에서 출력상수 ± 2 % ± 2 % ± 2 % ± 2 %
연속적으로 세팅 가능한 출력 범위 500 W - 10000 W 600 W - 12000 W 750 W - 15000 W 1000 W - 20000 W
빔 품질 표준 (K / M²) 0.52 / 1,9 0.26 / 3,8 0.24 / 4,2 0.22 / 4,5
파장 10.6 μm 10.6 μm 10.6 μm 10.6 μm
세팅가능한 펄스 기간 10 µs … cw 10 µs … cw 10 µs … cw 10 µs … cw
디자인        
빔 발생기 치수 (W x H x D) 1185 mm x 615 mm x 1150 mm 1665 mm x 1100 mm x 1524 mm 1665 mm x 1100 mm x 1524 mm 1665 mm x 1100 mm x 1524 mm
고주파 발진기 및 컨트롤 시스템 치수 (W x H x D) 3000 mm x 2100 mm x 800 mm 3000 mm x 2100 mm x 800 mm 3000 mm x 2100 mm x 800 mm 5200 mm x 2100 mm x 800 mm
설치        
주변온도 표준 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C 5 °C - 35 °C

TRUMPF를 사용하면, 다양한 옵션을 사용하여 TruFlow를 귀사의 필요에 정확하게 맞춰 조정할 수 있습니다. 귀사의 빔 가이드에 파일럿 레이저, 원 편광판, 빔텔레스코프 등과 같은 추가적인 컴포넌트를 장착하십시오. TRUMPF는 냉각수 회로에 대해서도 여러가지 옵션을 제공합니다. 필요한 경우 능동형 레이저 출력 조정으로 프로세스를 더 일정하게 유지하거나 이동 가능한 가동식 공진기로 생산을 더 유연하게 할 수 있습니다.

내장된 빔 가이드 컴포넌트

빔 소스 자체 외에도 폭 넚은 범위의 광학 컴포넌트 및 기타 액세서리 중에서 선택할 수 있습니다. 이러한 빔 가이드 컴포넌트중 상당수가 원 편광판, 빔텔레스코프, 파일럿 레이저 또는 직경 조절 미러 등과 같은 레이저 후드에 포함됩니다. 다단계 필터링된 공기를 통한 컴포넌트 통풍은 외부의 가스가 오염되는 것을 방지합니다.

공진기의 정사각형 기본 구조
다재다능한 냉각 컨셉

레이저 냉각을 위해 워터-워터 압축기 쿨러 또는 워터-에어 압축기 쿨러 중 선택합니다. 고유의 냉각 회로를 이미 작동한 경우 플레이트 열교환기를 사용할 수 있습니다.

이동된 시스템 내 TruFlow 레이저
이동식 공진기

TruFlow 레이저의 안정성으로 인해 TruFlow는 이동된 시스템에서도 사용할 수 있습니다. 여기에는 다음과 같은 두 가지 방법이 있습니다. 공진기만 이동시켜 유연한 고주파 케이블을 통해 공급하거나 발진기를 공진기와 함께 이동시키는 것입니다.

활성화된 레이저 출력 제어

활성화된 레이저 출력 제어 기능은 +/- 1%의 편차로 레에저 출력을 안정화시키고 주변 영향과는 무관하게 공정을 일정하게 유지합니다.

레이저와 레이저 설비는 당사에게는 하나의 완벽한 커플입니다. 모든 빔 소스는 TRUMPF 레이저 설비의 요건에 최적으로 조정되어 있습니다. 수많은 버전 및 옵션 중에서 선택하십시오. 이렇게 귀사의 작업에 적합한 설비를 획득하십시오. TruFlow 레이저는 2D 및 3D 레이저 절단기에 적합하며 복합기에 통합될 수 있습니다.

TRUMPF는 빔 가이드를 각기 요건에 맞춰 개별적으로 조정하는 것을 지원합니다. 여기에 TRUMPF 품질의 개별적인 광학 컴포넌트를 기존 제조 장비 또는 새로 고안된 제조 장비로의 통합을 위해 사용할 수 있습니다. 이렇게 빔 스플리터 또는 벤딩 미러 및 빔텔레스코프 또는 원 편광판 등을 외부 빔 경로에 통합할 수 있습니다.

TRUMPF 벤딩 미러

90° 벤딩되는 이 미러 유닛의 애퍼처는 43 mm - 80 mm이고, 최대 부하 용량은 20 kW입니다. 높은 열 공학적 안전성으로 인해서 먼 거리에서의 까다로운 빔 가이드 작업 역시 가능하도록 합니다.

TRUMPF 투웨이 빔 스위치

투웨이 빔 스위치는 확인 프롬프트가 내장된 방사선 저항 보호 하우징으로 구성되어 있습니다. 공압식으로 정밀 리니어 가이드에서 이동하는 벤딩 미러 블록에는 신속 교체 마운트 및 전기 미러 모니터링이 장착되어 있습니다. 전기 인터페이스로 ASI-Box가 사용됩니다.

국가에 따라 이 제품 분류 및 기재 사항이 다를 수 있습니다. 기술, 사양, 가격 및 액세서리 제공 품목이 변경될 수 있습니다. 제품이 귀하의 국가에서 사용 가능한지에 대한 여부는 현지 담당자에게 문의하십시오.

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EUV 리소그래피

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