Mit induktiv gekoppelten Plasmen (ICP) lassen sich bei Atmosphärendruck Temperaturen von bis zu 10.000°C erreichen. Dabei muss das Plasmagas in den vierten Aggregatzustand versetzt werden. Zu Beginn wird eine Zündquelle - thermisch oder mit Hochspannung - benötigt. Diese generiert die ersten freien Ladungsträger, welche dann im Magnetfeld des Induktors mit hoher Spannung beschleunigt werden und zu einer lawinenartigen Ionisation des Plasmagases führen. In der Folge entsteht ein elektrisch leitfähiges Plasma, welches induktiv weiter erwärmt werden kann.
Übliche Plasmagase sind Argon, Stickstoff, Wasserstoff und Sauerstoff sowie deren Gemische. Bedeutsame Anwendungen sind das Spheroidisieren von Metallpartikeln, das Aktivieren von Glasoberflächen, das Reinigen (Läutern) von Silizium-Schmelzen, die Herstellung von Metall-Keramik-Verbindungen und die Spektroskopie. Die Generatoren mit Röhrentechnologie von TRUMPF Hüttinger liefern zuverlässig Leistungen von bis zu 120kW bei Frequenzen von 2 – 3MHz für diese Applikation.