Die Herausforderung:
Hohe Abscheideraten und hervorragende Schichtqualitäten - das sind die entscheidenden Qualitätsanforderungen bei plasmagestützten Beschichtungsprozessen wie zum Beispiel bei der Herstellung von Solarzellen oder der Beschichtung von Flachbildschirmen. Die Plasmabeschichtung kann jedoch von elektrischen Überschlägen oder Bogenentladungen, den sogenannten Arcs, gestört werden. Die eingesetzte Stromversorgung muss einen Arc daher in kürzester Zeit erkennen und individuell darauf reagieren.
Die Lösung:
Unsere Plasmageneratoren sind mit einem auf individuelle Anforderungen abgestimmten Arc Managementsystem ausgestattet. Diese erlauben eine sehr schnelle Arc-Erkennung, durch die der Generator schnell und präzise auf Arcs reagieren kann. Die Arcbehandlung erfolgt durch ein kurzes Abschalten der Ausgangsleistung, durch die die Bogenentladung gelöscht wird. Beim wieder Anlaufen des Generators wird auf ein korremtes Brennen der Glimmentladung geprüft.
