Strukturieren und Abtragen mit dem Festkörperlaser waren lange kaum bekannt. Erst seitdem das Stichwort Mikrobearbeitung in aller Munde ist, rücken die Verfahren mehr und mehr in den Mittelpunkt des Interesses. Denn beim Laserstrukturieren und Laserabtragen werden Werkstücke in kleinen und kleinsten Dimensionen bearbeitet.
Verfahrenstechnisch sind Strukturieren und Abtragen eng verwandt: Kurze Laserpulse mit sehr hohen Pulsleistungen erzeugen so hohe Energiedichten, dass das Material überwiegend direkt verdampft (sublimiert). Bei diesem Vorgang entsteht nur wenig Schmelze. Jeder Laserpuls erzeugt eine kleine Vertiefung. Sie misst typischerweise einige 10 Mikrometer im Durchmesser und nur wenige Mikrometer in der Tiefe.